1、 扫描台：第二代High Definition高清晰扫描台；重复精度 0.05um
X / Y 轴均为超高性能线性马达（Y 轴为双马达）
X / Y 轴具有内置磁力机构，配置仪器设备专用大理石防震台和平衡惯性机构，确保扫描的稳定性在高速扫描过程中可隔绝振动的影响，可避免图像因快速扫描而失真；
2. 前后双探头机构，可前后同时反射扫描，2倍单探头扫描效率；
3. 前后每个探头各自扫描范围：最小：200 x 200 μm 最大：320 x 320 mm
4. 可自动寻找被测样品的中心位置和样品边缘尺寸，自动设定扫描范围
5. 最大扫描速度： 2,000mm/s, X 轴最大加速度：20,000mm/s2
6. 接收发射器DPR 500带宽：500MHz
7. ADC 卡采样频率：5G/秒
8. 支持探头频率：5MHz-400MHz
9. 增益调节窗口：-22dB-50dB, 更多功能高级菜单设置
10. 主要扫描模式：A-扫描、B-扫描、X-扫描 （多层C扫描）、Z-Staple 扫描（在不同的Z高度进行连续的C扫描）、多重门限扫描、T-Scan (透射扫描)、High Quality-高清晰扫描、表面跟踪扫描、Z-Scan实体扫描模式、托盘矩阵扫描、 Z变换扫描、顺序扫描预扫描、自动扫描、空位跳跃扫描、插值扫描、分频扫描，Over Scan等；
11. 图像分辨率最大≥ 32,000 x 32,000 像素, 精度最小0.5um/像素；
12. HiSA 高速实时自动聚焦功能（选项，可选前面1个HiSA 或前后2个HiSA ）：
可根据样品的翘曲情况（5mm以内），在扫描过程中实时调整焦距，即Z轴一边扫描，一边实时自动改变Z轴探头的上下对焦位置，使得探头对于检测位置始终处于聚焦状态，从而保证整个样品的图像完整性；
13. DTS 高分辨率动态透射扫描（选项）：
改变了传统穿透式透射接收探头安装固定后就无法聚焦的状况，通过后置Z轴运动单元，使用者可以像C-扫描反射探头一样对该透射接收探头进行调整和聚焦，使得发射探头和透射接收探头处于同一聚焦面，保证透射接收探头的最佳信号，透射图像甚至可以和C-扫描的分辨率相媲美；
可选DTS透射接收探头：40MH z f=16mm 或 40MHz f=12.7mm