用于晶锭质量控制的自动模具系统

主要用于单个晶锭的缺陷检测，分析空洞、夹杂物以及样品的大小厚度等数据。它能够检测5-12英寸的硅锭，最高可达400mm的厚度，重量可达75公斤。

用于5-12英寸硅锭的装载端口；
如果晶锭前面接口处无法垂直于模具中心线，
有特殊的调整机构可用来补偿锲入缺陷；
前轴定位和槽口探测器；
高精密的把手设备，对于晶锭来说，最大可达75公斤；
快速多探头扫描系统（4个探头）；
检测前后的干燥单元；
缺陷深度探测的分析软件和硬件；
耦合液（水）的自动更换；

对于硅来说，缺陷分辨率≥100μm;
　　对于比较大、重的样品必须根据外形来自定义装载端口和扫描头）