SAM 302 双探头扫描

德国 PVA Hibert Filter- 外置滤波器（软件开关控制，用于110MHz 以上延迟性探头使用）

2.  各种样品吸盘、夹具定制、半自动化设备升级

3. 专业图像处理与计算软件（空洞率计算和颗粒度分析，不仅适用于超声波扫描显微镜，同时可用于电镜、光学显微镜、 共聚焦显微镜、   X-Ray 等众多显微检测设备）

 图为左右排列双探头，每个探头各扫描1个6' Wafer

 双探头扫描系统（双探头可左右排列或前后排列），成倍提高检测效率

专业工业控制计算机系统基本配置：

基本配置：CPU 3.5 GHz, Intel 四核处理器，16GB 内存，1T硬盘，DVD-RW刻录光驱，高速图像卡，Windows 10操作系统, USB及网络接口，1台27' LCD 液晶显示器或2台22寸液晶显示器, 配置防静电操作台

主要技术参数：

一  机械部分：

1. X/Y 两轴均为超高速、线性马达驱动系统, X / Y 轴内置磁力机构；

2. 配有防震系统与惯性平衡机构，隔绝在高速扫描过程中振动影响，确保图像不会因快速扫描而失真；

3. Z 轴行程大于100mm

4. Z轴自动对焦，不仅可以自动对焦到样品表面，而且同时还可对样品内部任意界面自动对焦; 逐层自动对焦可设定步距，Z-轴探头按步距从样品底部开始向上逐层扫描；

5. 双探头可同时扫描，每个探头扫描范围：最小0.20 mm  × 0.20 mm ；最大 > 320 mm × 320 mm；可自定义扫描区域，可任意输入或框选扫描面积（正方形，长方形，矩形）；同时还能自定义序列扫描，跳过没有样品的空白位置；可自动寻找被测样品的中心位置和样品边缘尺寸，自动设定扫描范围；

6. 最大扫描速率：1,500 mm/s

7. 重复精度：+/- 0.1μm

8. 标准工作水槽尺寸：670 *600 * 70mm 或670 * 600 * 150mm 或定制加长工作水槽，配置工字形样品台

二  电子部分:

1. DPR 500 超声波接收和发射器频率带宽：500MHz

2. ADC卡采样频率：1.25G/秒 ( 2G   5G 可选配）

3. 前置放大器：L2，H2，H3（选配）